Rotary Spin Coater 24 Posisi dengan Ukuran Substrat yang Dapat Disesuaikan dan Profil Putaran yang Dapat Diprogram untuk Deposisi Film Tipis Throughput Tinggi
Pelapis Putar Putar 24 Posisi
,coater spin yang dapat diprogram untuk deposisi film tipis
,Spin coater ukuran substrat yang dapat disesuaikan
Spin coater 24 stasiun ini dirancang untuk deposisi film tipis dengan throughput tinggi dari fotoresist, polimer, nanopartikel, dan bahan sol-gel.Sistem ini mendukung profil spin yang dapat disesuaikan (akselerasi, durasi, kecepatan) untuk setiap stasiun, membuatnya ideal untuk lingkungan R&D dan produksi.
| Parameter | Nilai / Jangkauan | Opsi kustomisasi |
|---|---|---|
| Jumlah stasiun | 24 | ✔ Bisa disesuaikan (16/24/32 stasiun) |
| Ukuran substrat | hingga 12 "wafer atau panel 300 × 300 mm | ✔ Ukuran pukulan yang dapat disesuaikan |
| Jangkauan kecepatan putaran | 100 - 12.000 putaran per menit | ✔ Dapat diprogram per stasiun |
| Keakuratan kecepatan | ± 1 rpm | - |
| Jangkauan akselerasi | 100 - 10.000 rpm/s | ✔ Bisa disesuaikan sesuai resep |
| Jangka waktu putaran | 1 - 999 detik / langkah | ✔ Langkah yang dapat disesuaikan |
| Volume pemberian | 0.1 - 20 ml per nozel | ✔ Jenis nozel yang dapat disesuaikan |
| Jenis mesin | Servo DC tanpa sikat | - |
| Keseragaman lapisan | ± 3% (di 24 stasiun) | ✔ Dapat ditingkatkan ke ± 1% |
| Aliran knalpot | 150 - 500 m3/h | ✔ Antarmuka knalpot yang dapat disesuaikan |
| Sumber daya listrik | 220V / 50-60 Hz / 3,5 kW | ✔ Tegangan yang dapat disesuaikan |
| Dimensi (L × W × H) | 1800 × 1200 × 900 mm | ✔ Ciri yang dapat disesuaikan |
| Berat badan | 520 kg | - |
- Lapisan wafer semikonduktor (fotoresist)
- Pembuatan sel surya OLED & perovskit
- Biochip & persiapan film polimer
- Lapisan anti-refleksi untuk optik
- Deposisi nanomaterial (graphene, titik kuantum)
- Penyaringan multi-kondisi R&D (24 parameter berbeda secara bersamaan)
Kami menawarkan kustomisasi penuh:
- Jumlah stasiun:Stasiun 8 / 12 / 16 / 24 / 32
- Bentuk dan ukuran substrat:Wafer bulat, panel persegi, substrat tidak teratur
- Sistem dispensasi:satu jarum, multi-nozzle, semprotan, atau inkjet
- Pengendalian lingkungan:kelembaban, suhu, filtrasi partikel
- Tingkat otomatisasi:beban manual, semi-otomatis, integrasi inline penuh
- Perangkat lunak:struktur resep yang disesuaikan, pemindaian barcode, ekspor data ke MES
- Pemasangan dan pelatihan di tempat
- Jaminan standar 18 bulan (dapat diperpanjang)
- Opsi debugging jarak jauh dan dukungan IoT
- Rencana kalibrasi dan pemeliharaan pencegahan tahunan
- Pasokan suku cadang selama ≥10 tahun
- Dukungan pengembangan perangkat lunak khusus
- Kemasan:Anti-statis vakum-disegel + plywood kasus ekspor (kebal kejut, kelembaban-tahan)
- Cara pengiriman:FOB / CIF melalui laut, udara (ekspres opsional untuk unit benchtop)
- Waktu pengiriman:30-45 hari kerja setelah konfirmasi pesanan (penyesuaian menambahkan 15 hari)
- Dokumen termasuk:Manual pengguna, sertifikat kalibrasi, deklarasi CE