 
|
Sistem Pengolahan Laser Excimer Industri. Integrasi Jalur Produksi Fleksibel & Parameter yang Dapat Dikustomisasi
Detail produk:
| Tempat asal: | Cina |
| Nama merek: | OSMANUV |
| Sertifikasi: | ISO9001 |
| Nomor model: | Spesifikasi |
Syarat-syarat pembayaran & pengiriman:
| Kuantitas min Order: | 1 Set |
|---|---|
| Harga: | Bisa dinegosiasikan |
| Kemasan rincian: | Kemasan kayu |
| Waktu pengiriman: | 30-45 hari |
| Syarat-syarat pembayaran: | T/T |
| Menyediakan kemampuan: | perundingan |
|
Informasi Detail |
|||
| Voltase: | 220V/380V | Kecepatan Konveyor: | 25 ~ 80m/mnt |
|---|---|---|---|
| Tenaga Motorik Utama: | 1,5kw | Lebar perataan efektif: | 920mm |
| Bahan Pelapis: | Berbagai Bahan | tipe lampu UV: | Lampu Merkurius |
| Kesalahan Melipat Mundur: | ±0,1 mm | Tipe Pengeringan: | Pengeringan IR |
Deskripsi Produk
Sistem Pengolahan Laser Excimer Industri
Integrasi Jalur Produksi Fleksibel & Parameter yang dapat disesuaikan sepenuhnya
Ringkasan Produk
Sistem pemrosesan laser excimer industri ini dirancang untuk microfabrication presisi tinggi, penggilingan semikonduktor, dan pola film tipis.Ini mendukung integrasi penuh ke dalam jalur produksi otomatis dengan pemantauan real-timeSistem ini memiliki sumber excimer gas-disegel dengan panjang hidup optik dan AI-dibantu kontrol proses.
Komposisi Jalur Produksi
- Unit sumber laser excimer
- Modul pembentukan balok & homogenisasi
- Tingkat pemindaian XY kecepatan tinggi atau unit proyeksi topeng
- Robot penanganan substrat dalam garis (lebar jalur yang dapat disesuaikan)
- Sistem manajemen gas buang dan gas
- PC kontrol proses dengan manajer resep
Parameter teknis
| Parameter | Jangkauan nilai (standar) | Opsi kustomisasi |
|---|---|---|
| Panjang gelombang | 193 nm / 248 nm / 308 nm | Multi-wavelength switchable (disesuaikan) |
| Energi pulsa maksimum | 0.5 - 1200 mJ | Hingga 2000 mJ (custom) |
| Frekuensi denyut nadi | 1 - 6000 Hz | Hingga 10 kHz (disesuaikan) |
| Daya rata-rata | 5 - 300 W | Skala khusus tersedia |
| Ukuran balok (keluar) | 10 × 10 mm | Balok persegi panjang hingga 50×50 mm (disesuaikan) |
| Homogenitas balok | < ± 3% (σ) | < ± 1% (optik khusus) |
| Integrasi jalur produksi | SMEMA / SECS / GEM | Protokol PLC yang disesuaikan (disesuaikan) |
Aplikasi
- Penggilingan silikon untuk tampilan canggih (LTPS)
- MEMS & mengiris wafer semikonduktor
- Aktivasi permukaan polimer
- Mikrostrukturisasi perangkat medis
- Pengeboran PCB fleksibel
Opsi kustomisasi
Kami menawarkanpenyesuaian penuhdari pilihan panjang gelombang, energi denyut nadi, ukuran medan pemindaian, campuran gas, metode pendinginan (udara/air/chiller), dan protokol komunikasi jalur produksi.Tangan pengiriman sinar yang disesuaikan dan kandang kelas-1 juga tersedia atas permintaan.
Fitur Utama
- > 2000 jam umur gas (campuran gas yang dioptimalkan)
- Stabilisasi energi terintegrasi (balas balik real-time)
- Diagnosis jarak jauh & pemeliharaan prediktif
- Biaya kepemilikan rendah (LOO) dengan mode penghematan gas bypass
- Desain modular kompak untuk konfigurasi ulang jalur cepat
Dukungan dan Layanan
- Dukungan teknis 24/7 (telepon / jarak jauh)
- Instalasi di lokasi & integrasi jalur produksi
- Pelatihan khusus untuk insinyur Anda
- Jaminan diperpanjang hingga 5 tahun
- Program pengisian ulang gas & renovasi optik
Pengemasan dan Pengiriman
- Disegel dalam wadah yang terkontrol kelembaban dan tahan kejut
- Kotak optik yang disegel vakum
- Pengiriman melalui udara atau laut dengan pelacakan real-time
- Kandang ekspor memenuhi standar ISPM-15
Pertanyaan yang Sering Diajukan
Q1: Bisakah Anda menyesuaikan ukuran kepala laser untuk jalur produksi yang kompak?
Ya, kepala laser dan jalur pengiriman sinar adalahdapat disesuaikan sepenuhnyaagar sesuai dengan ruang garis yang sempit atau berbentuk ganjil.
Q2: Berapa waktu utama untuk sistem yang disesuaikan?
Standar: 8-10 minggu; disesuaikan: 12-14 minggu termasuk validasi desain.
T3: Apakah Anda mendukung integrasi dengan MES yang ada?
Ya, kami menyediakanCustom SECS/GEM, OPC-UA, atau Modbusantarmuka.
Ingin Tahu lebih detail tentang produk ini
