|
Detail produk:
|
| Voltase: | 220V/380V | Kecepatan Konveyor: | 25 ~ 80m/mnt |
|---|---|---|---|
| Tenaga Motorik Utama: | 1,5kw | Lebar perataan efektif: | 920mm |
| Bahan Pelapis: | Berbagai Bahan | tipe lampu UV: | Lampu Merkurius |
| Kesalahan Melipat Mundur: | ±0,1 mm | Tipe Pengeringan: | Pengeringan IR |
| Menyoroti: | Sistem pemrosesan laser excimer industri,Garis produksi laser excimer fleksibel,Parameter mesin pelapis UV yang dapat disesuaikan |
||
Sistem pemrosesan laser excimer industri ini dirancang untuk microfabrication presisi tinggi, penggilingan semikonduktor, dan pola film tipis.Ini mendukung integrasi penuh ke dalam jalur produksi otomatis dengan pemantauan real-timeSistem ini memiliki sumber excimer gas-disegel dengan panjang hidup optik dan AI-dibantu kontrol proses.
| Parameter | Jangkauan nilai (standar) | Opsi kustomisasi |
|---|---|---|
| Panjang gelombang | 193 nm / 248 nm / 308 nm | Multi-wavelength switchable (disesuaikan) |
| Energi pulsa maksimum | 0.5 - 1200 mJ | Hingga 2000 mJ (custom) |
| Frekuensi denyut nadi | 1 - 6000 Hz | Hingga 10 kHz (disesuaikan) |
| Daya rata-rata | 5 - 300 W | Skala khusus tersedia |
| Ukuran balok (keluar) | 10 × 10 mm | Balok persegi panjang hingga 50×50 mm (disesuaikan) |
| Homogenitas balok | < ± 3% (σ) | < ± 1% (optik khusus) |
| Integrasi jalur produksi | SMEMA / SECS / GEM | Protokol PLC yang disesuaikan (disesuaikan) |
Kami menawarkanpenyesuaian penuhdari pilihan panjang gelombang, energi denyut nadi, ukuran medan pemindaian, campuran gas, metode pendinginan (udara/air/chiller), dan protokol komunikasi jalur produksi.Tangan pengiriman sinar yang disesuaikan dan kandang kelas-1 juga tersedia atas permintaan.
Kontak Person: Mr. Zhang guoxin
Tel: +86 13926890692
Faks: 86-769-88120350